[实用新型]镀膜设备

摘要

本实用新型实施例提供一种镀膜设备，包括上层腔室和下层腔室，上层腔室与下层腔室相互独立；支撑架，支撑架用于承载上层腔室，以使上层腔室位于下层腔室上；进料平台和出料平台，上层腔室和下层腔室共用进料平台和出料平台；进料平台和出料平台位于上层腔室相对的两侧；下层腔室包括下层腔体和下层腔盖，下层腔盖用于密封下层腔体，下层腔盖包括相连接的第一腔盖和第二腔盖；第一腔盖包括相对的第一侧和第二侧，第二腔盖包括相对的第三侧和第四侧；镀膜设备还包括：第一驱动部，第一驱动部与下层腔盖连接，并驱动第一侧和第四侧相对于下层腔体升降，使得下层腔体打开或密闭。本实用新型实施例提供的镀膜设备能合理利用厂房空间并且能提高产能。