[实用新型]一种拉晶炉有效
| 申请号： | 202023046389.3 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN214115773U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 毛勤虎;沈福哲;金珍根;车贤湖 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 胡影;李红标 |
| 地址： | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种拉晶炉，包括：炉体，炉体内限定有腔室，炉体的顶部设有与腔室连通的拉晶口，炉体的底壁设有与腔室连通的出口；基座，基座设在腔室内；坩埚，坩埚设在基座上；排气结构，排气结构包括排气管与活动件，排气管设在出口中；活动件设在排气管中，且活动件止抵排气管的内侧壁，活动件的至少部分沿排气管的内侧壁可活动。在本实用新型的实施例中，通过活动件的至少部分沿排气管的内侧壁的活动可以清理排气管的内侧壁上的沉积物，解决了排气管内壁沉积物不易清理的问题，使得尾气正常排出，避免影响拉晶炉内的气压，有利于晶体的稳定生长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 拉晶炉 | ||
【主权项】：
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