[实用新型]一种磁控溅射室观察窗结构有效
| 申请号： | 202023056119.0 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN213835523U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘泽利;熊建;饶志刚 | 申请（专利权）人： | 咸宁南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/52 | 分类号： | C23C14/52;C23C14/35 |
| 代理公司： | 咸宁鸿信专利代理事务所(普通合伙) 42249 | 代理人： | 阳会用 |
| 地址： | 437000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种磁控溅射室观察窗结构，属于镀膜玻技术领域。包括溅射室壁板、开设在溅射室壁板上的安装孔、可拆卸连接在安装孔处的安装筒和固定在安装筒内的透光玻板，安装筒外侧的溅射室壁板上转动连接有一摇柄，摇柄的内端固定设置有一圆形的遮板，遮板直径大于透光玻板的直径，安装筒内滑动连接有一位于透光玻板的内侧的压紧套，压紧套与透明玻板之间连接有一压紧弹簧，压紧套与遮板外侧面抵靠。本实用新型具有能够防止观察窗被污染等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 磁控溅射 观察窗 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于咸宁南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司，未经咸宁南玻节能玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023056119.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
