[实用新型]一种氮化硅结合碳化硅坩埚有效
| 申请号： | 202023060527.3 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN213811699U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘得顺;方怀毅;李治桐 | 申请（专利权）人： | 唐山正益科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B14/10 | 分类号： | F27B14/10 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 王姝尹 |
| 地址： | 063000 河北省唐山市唐山高新区火炬*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种氮化硅结合碳化硅坩埚，包括：氮化硅结合碳化硅烧结的坩埚底和坩埚环壁，坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体；圆筒体内壁以底部为中心向外发散延伸有多条导流线。本实用新型由于坩埚底和坩埚环壁插接后形成由坩埚底部至顶部敞口逐渐增大的圆筒体，方便石英坩埚换埚时取出，以底部为中心向外发散延伸有多条导流线和采用氮化硅结合碳化硅烧结形成了导热性好，线膨胀系数小、耐磨、耐腐蚀、方便分离的坩埚，进而石英坩埚换埚时方便取出，不易损坏，提高了坩埚的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氮化 结合 碳化硅 坩埚 | ||
【主权项】：
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