[实用新型]一种原子层沉积设备

摘要

本申请公开了一种原子层沉积设备，包括工艺腔室、导轨、传送带，还包括位于所述工艺腔室中的静电除尘设备；所述静电除尘设备包括电源、与所述电源的第一电极相连的放电体、与所述电源的第二电极相连的集尘板。放电体与电源的第一电极相连，集尘板与电源的第二电极相连，接通后放电体周围空气被电离形成电离区，电离区中与第一电极极性相反的带电离子向放电体移动，与第一电极极性相同的带电离子向电离区外移动，使得石墨粉尘带电，在库仑力的作用下石墨粉尘向与第二电极相连的集尘板移动，沉积在集尘板上，定时清理集尘板即可，减少硅片表面石墨粉尘的聚集，改善EL黑点和黑斑问题，提升电池生产良率。