[实用新型]一种光罩转移器有效
申请号: | 202023095538.5 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN213780636U | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 徐彬 | 申请(专利权)人: | 广州粤芯半导体技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人: | 王宏婧 |
地址: | 510000 广东省广州*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种光罩转移器。光罩转移器包括握把、连接件、第一承载件、第二承载件和限位顶柱;连接件包括第一侧面和第二侧面,握把与第一侧面的中心位置连接;第一承载件和第二承载件平行、间隔并且关于第二侧面的垂直平分面对称设置在第二侧面上;第一承载件的内侧设置有位于同一平面的第一台阶和第二台阶,第二台阶靠近第一承载件的另一端的一侧设置有第一翻边;第二承载件的内侧设置有第三台阶和第四台阶,第四台阶设置有第二翻边;限位顶柱贯穿连接件,限位顶柱相对所述连接件可活动,用于固定光罩。从光罩的侧面固定光罩,与光罩表面和背面上的薄膜不接触,提高了人工转移光罩的效率,降低了光罩报废的概率。 | ||
搜索关键词: | 一种 转移 | ||
【主权项】:
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