[实用新型]硅片加工用成品检测小车有效
| 申请号： | 202023103073.3 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN213906625U | 公开（公告）日： | 2021-08-06 |
| 发明（设计）人： | 任勇;任祥才 | 申请（专利权）人： | 云南鲁中工贸有限公司 |
| 主分类号： | H02S50/10 | 分类号： | H02S50/10;H01L21/67;G01N21/84 |
| 代理公司： | 昆明润勤同创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 53205 | 代理人： | 付石健 |
| 地址： | 650000 云南省昆*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了硅片加工用成品检测小车，包括车体，所述车体的内部设置有安装板，所述安装板的内部设置有螺纹杆，所述螺纹杆的外侧表面且位于安装板的顶部外表面设置有定位块，所述定位块的两侧且位于螺纹杆的外侧外表面均设置有滑块，所述滑块的顶部外表面且位于安装板的顶部外表面设置有安装座，所述安装座的内侧设置有夹持板，所述车体的顶部且位于安装座的顶部设置有顶盖，所述顶盖的底部外表面且安装座的内侧设置有检测探头，所述车体的底部外表面设置有多组滚轮。本实用新型为硅片加工用成品检测小车，通过夹持板固定硅片的边角，采用检测探头进行检测，并且安装板可转动，提高检测的全面性，较为实用。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 工用 成品 检测 小车 | ||
【主权项】：
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