[实用新型]一种用于单晶硅切片的研磨装置有效
申请号: | 202023127539.3 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN214922925U | 公开(公告)日: | 2021-11-30 |
发明(设计)人: | 王初林 | 申请(专利权)人: | 扬州善鸿新能源发展有限公司 |
主分类号: | B24B7/22 | 分类号: | B24B7/22;B24B41/06;B24B47/22 |
代理公司: | 扬州邗诚专利代理事务所(普通合伙) 32469 | 代理人: | 李雯斐 |
地址: | 225000 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶硅生产设备技术领域,具体为一种用于单晶硅切片的研磨装置。包括支撑板,支撑板底部设置有支撑腿,支撑板顶部的两侧均固定安装有侧盒,一个侧盒的内安装有电机,电机输出端连接有丝杠,丝杠上螺纹连接有第一滑动块,另一个侧盒的内部固定安装有滑杆,滑杆中部套接有第二滑动块,第一滑动块和第二滑动块之间固定安装有连接板,连接板的底部固定安装有漏斗,漏斗的底部固定连通有导管,导管的底端穿过支撑板并连通有收集盒。本实用新型能实现连接板上下移动,从而可调整研磨盘与连接板之间的距离,方便对不同大小的工件研磨;能实现对工件的固定,防止在研磨过程中,由于工件移动导致研磨的质量变差,提高了该研磨装置的实用性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 单晶硅 切片 研磨 装置 | ||
【主权项】:
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