[实用新型]一种单晶硅片甩干烘干装置

摘要

本实用新型提供一种单晶硅片甩干烘干装置，包括箱体，箱体内通过支撑轴转动安装有转动轴，转动轴为中空结构，转动轴上固定安装有若干硅片放置架，硅片放置架的上下部均设有喷气板，喷气板的一端与转动轴连通，转动轴的顶端穿过箱体顶部，且顶端口转动安装有进气管，转动轴的顶端上套装有从动齿轮，且一侧设置有驱动电机，驱动电机的输出轴上安装有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮啮合。本实用新型利用硅片放置架装夹单晶硅片并且通过旋转产生离心力分离水分的同时通过热风进行烘干，效率高，值得大力推广。