[实用新型]镀膜设备有效
| 申请号： | 202023145825.2 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214115717U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 黎微明;李翔;吴兴华 | 申请（专利权）人： | 江苏微导纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;H01L31/18 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周昭 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜设备，在进行异质结太阳能电池的镀膜时，第一镀膜机构、第二镀膜机构及第三镀膜机构分别实现I层、p层及n层的镀设。硅片在第一运输组件的带动匀速通过第一镀膜腔体，从而在两面形成I层；接着，基片依次进入第二镀膜腔体及第三镀膜腔体，从而得到p层及n层。在第二镀膜腔体及第三镀膜腔体内，工艺参数可单独进行调整，从而得到所需的窗口层以保证转换效率。由于硅片两侧的I层成分相同，故可以在第一镀膜腔体内同时成型。而且，I层镀膜时的工艺参数保持恒定，故多个硅片可以连续通过第一镀膜腔体，从而实现I层的连续动态的镀膜。因此，第一镀膜腔体的利用率显著提升，故上述镀膜设备的产能的以提高。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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