[实用新型]散斑测量机台有效
| 申请号： | 202023163396.1 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN213956273U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 鞠晓山;冯坤亮;李宗政;张志圣 | 申请（专利权）人： | 江西欧迈斯微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京景闻知识产权代理有限公司 11742 | 代理人： | 张强 |
| 地址： | 330096 江西省南昌市*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种散斑测量机台，所述散斑测量机台包括：台体，所述台体内放置有晶圆，所述晶圆具有多个衍射光学单元；光发射装置，所述光发射装置安装于所述台体，所述光发射装置发射的光照射于所述晶圆的至少一个所述衍射光学单元，每个所述衍射光学单元被所述光照射时产生多个散斑；检测装置，所述检测装置安装于所述台体且包括积分球和接收器，所述检测装置和所述光发射装置位于所述晶圆的相对两侧，所述检测装置对应所述散斑设置且用于获取所述散斑的光功率。根据本实用新型实施例的散斑测量机台能够直接获取晶圆的散斑的光功率，具有操作简单、测量精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 机台 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西欧迈斯微电子有限公司，未经江西欧迈斯微电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023163396.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
