[实用新型]掩膜装置有效
| 申请号： | 202023164853.9 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN213951326U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 李世泰;孙琳;李慧;刘明星 | 申请（专利权）人： | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京华进京联知识产权代理有限公司 11606 | 代理人： | 方晓燕 |
| 地址： | 230000 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种掩膜装置，该掩膜装置包括掩膜支撑框架，该掩膜支撑框架包括外框和多个第一支撑架，该外框的第二边框上设置有多个第一凹槽；每个第一支撑架包括位于中段的第一支撑结构和位于两端的第一固定结构；每个第一支撑架的第一固定结构与外框上的第一凹槽配合固定；其中每个第一支撑架上的第一固定结构尺寸相同；其中至少一个第一支撑架上的第一支撑结构与其他第一支撑架上的第一支撑结构沿第二方向的宽度不同。该掩膜装置能够实现在简化安装的同时根据金属掩膜网中掩膜开口的排布特点针对性的进行支撑，进而使得金属掩膜网能与基板有效贴合，减少Shadow，优化蒸镀效果，减少边缘Mura不良产生概率。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
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