[实用新型]薄膜体声波谐振器及滤波器有效
| 申请号： | 202023167699.0 | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN215072336U | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 牛玉娇 | 申请（专利权）人： | 嘉兴宏蓝电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/54;H03H9/25;H03H9/64 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉兴市平湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开的一种薄膜体声波谐振器，所述薄膜体声波谐振器包括：衬底和压电三明治结构，所述衬底具有凹槽，所述压电三明治结构至少部分悬设置于所述凹槽的上方，所述凹槽内设置有支撑结构，所述支撑结构至少部分为布拉格反射结构，所述支撑结构可以对压电三明治结构起到一定的支撑作用，提高其可靠性，且由于布拉格反射层的存在，所述当所述薄膜体声波谐振器工作时，可以一定程度上减小所述能量从所述压电三明治结构向所述支撑结构泄露。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 声波 谐振器 滤波器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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