[实用新型]一种采用集成电路构造的空心线圈和电磁检测探头有效

专利信息
申请号: 202023169664.0 申请日: 2020-12-25
公开(公告)号: CN216082594U 公开(公告)日: 2022-03-18
发明(设计)人: 邵文斌;崔洪岩;祁攀;廖述圣;罗玉文 申请(专利权)人: 核动力运行研究所;中核武汉核电运行技术股份有限公司
主分类号: G01N27/72 分类号: G01N27/72;G01N27/90;H01F27/28
代理公司: 核工业专利中心 11007 代理人: 王洁
地址: 430223 湖北省武汉*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 实用新型具体涉及一种采用集成电路构造的空芯线圈和电磁检测探头,所述采用集成电路构造的空芯线圈包括晶圆基体和在所述晶圆基体内的空心线圈金属层;所述空心线圈金属层至少两层,两两相邻的空心线圈金属层之间通过与其空间垂直的金属导线连接。所述电磁检测探头由所述空心线圈阵列排布而成。本实用新型提供的采用集成电路构造的空芯线圈和电磁检测探头,能够满足电磁及涡流检测领域,尤其是阵列检查技术对于空芯线圈的高密度、小尺寸、多线圈要求。
搜索关键词: 一种 采用 集成电路 构造 空心 线圈 电磁 检测 探头
【主权项】:
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