[实用新型]在线温测真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202023215067.7 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214400701U | 公开（公告）日： | 2021-10-15 |
| 发明（设计）人： | 魏国军;张继朋;李景薇 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 100176 北京市大兴*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型的涉及一种在线温测真空镀膜设备，包括真空室、工件架、镀膜装置、加热器和温测装置，所述工件架、镀膜装置和加热器设置在所述真空室内，所述温测装置包括红外温测仪和视窗，所述视窗将所述红外温测仪隔离设置在所述真空室外，所述视窗对于所述红外温测仪的工作波长而言是透明的。通过本实用新型的技术方案，使得红外温测仪能够在线获得工件架上被镀膜工件表面各点的实时温度，保证了每个镀膜工件表面定位温度均匀，进而实现精确调整加热器功率，提升镀膜工件表面成膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 在线 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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