[实用新型]一种生成低电阻率超纯水的装置有效
| 申请号： | 202023220606.6 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN214167626U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 蒋新;李晓波;施利君;宋金林 | 申请（专利权）人： | 苏州晶洲装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/04 | 分类号： | C02F9/04;C02F1/68;C02F103/04 |
| 代理公司： | 苏州根号专利代理事务所(普通合伙) 32276 | 代理人： | 吕正刚 |
| 地址： | 215500 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种生成低电阻率超纯水的装置，包括二氧化碳供给管路、超纯水供给管路、二氧化碳溶解装置，其中，所述二氧化碳溶解装置包括密闭的壳体、设置在壳体内的纤维膜管以及设置在壳体上的二氧化碳进口、二氧化碳出口、纯水进口、纯水出口，二氧化碳进口与二氧化碳出口与所述壳体导通，所述纯水进口与纯水出口与所述纤维膜管的两端分别连接导通，所述二氧化碳供给管路与所述二氧化碳进口相连，所述超纯水供给管路与所述纯水进口相连。本申请能够有效地将二氧化碳溶解于超纯水中，并能精确控制超纯水的电阻率，保证超纯水电阻率的高稳定性，从而确保最终产品的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 生成 电阻率 超纯水 装置 | ||
【主权项】：
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