[实用新型]石墨舟移料模组与反应炉有效

专利信息
申请号: 202023227261.7 申请日: 2020-12-28
公开(公告)号: CN214458311U 公开(公告)日: 2021-10-22
发明(设计)人: 余仲;李学文;刘兵吉;余梦成 申请(专利权)人: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
主分类号: C23C16/458 分类号: C23C16/458;C23C16/50
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 谢岳鹏
地址: 518118 广东省深圳市坪山*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种石墨舟移料模组与反应炉,石墨舟移料模组包括第一动力装置、至少两个第二动力装置、至少两个第三动力装置与至少两个抓取装置:第一动力装置包括第一动力件与第一连接件,第一动力件用于驱动第一连接件沿第一水平方向运动,第一水平方向与石墨舟进出反应管的方向平行;第二动力装置包括第二动力件以及第二连接件,第二动力件用于驱动第二连接件沿竖直方向运动;第三动力装置包括第三动力件与第三连接件,第三动力件用于驱动第三连接件沿第二水平方向运动,第二水平方向与第一水平方向垂直;抓取装置用于抓取石墨舟,各抓取装置沿竖直方向分布。上述石墨舟移料模组能够提升工作效率。
搜索关键词: 石墨 舟移料 模组 反应炉
【主权项】:
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