[实用新型]真空腔体氦检装置有效
| 申请号： | 202023245659.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN213956687U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡立国;赵兴 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾浩 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种真空腔体氦检装置，包含：前级管路，所述前级管路的第一端连通真空腔体；检测支路，所述检测支路的第一端连通所述前级管路，所述检测支路的第二端具有连通氦气检漏仪的接口，所述检测支路的第一端和其第二端之间设有开关阀。与现有技术相比，本实用新型的有益技术效果在于：在安装和拆卸氦气检漏仪的前先关闭开关阀，氦气检漏仪安装完毕后，再打开开关阀，氦气检漏仪能够与真空腔体连通，据此，在此过程中，真空腔体不存在回大气操作，没有暴露在大气环境中，不会带来空气中的水、氧或颗粒等污染物，减少腔体的恢复时间，提高作业效率。 | ||
| 搜索关键词： | 空腔 体氦检 装置 | ||
【主权项】：
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