[实用新型]一种用于双面数字化曝光的基材平整装置

摘要

本实用新型公开了一种用于双面数字化曝光的基材平整装置，其包括：固定机构、悬浮辅助支撑机构，所述固定机构用于对基材进行初步定位；所述悬浮辅助支撑机构包括涡流组件、磁性组件，所述涡流组件与所述磁性组件相互作用而施加垂直于所述基材表面的支撑力。本实用新型通过固定机构对基材进行初步定位，防止基材相对固定机构运动，然后在基材的竖直方向上通过悬浮辅助支撑机构对其进行非接触式支撑，这样就提高了基材表面的平整度，从而有效地保证了基材曝光面与曝光镜头焦平面的一致性，大大提高了曝光图形解析度和对位精度等核心指标；此外，该基材平整装置还具有结构简单、易于加工、成本低等优点。