[实用新型]一种用于管式镀膜设备的炉门结构及镀膜设备

摘要

本实用新型公开了一种用于管式镀膜设备的炉门结构，包括炉门、匀流板和隔套，匀流板通过隔套与炉门的内壁相连，炉门的内壁和匀流板之间存在间距，匀流板上开设有多个通孔。本实用新型还公开了一种镀膜设备，包括炉管，炉管的炉口处安装有如上所述的用于管式镀膜设备的炉门结构。本实用新型具有结构简单、成本更低、能提升镀膜均匀性、减少炉管内镀膜效率差异等优点。