[实用新型]一种方便填料的气相沉积炉

摘要

一种方便填料的气相沉积炉，包括平台底座、真空炉、安装架及真空系统，平台底座的中部开设有一个滑轨，滑轨上设有一个可沿滑轨滑动的轨道车，安装架包括支撑杆及安装平台，支撑杆分别安装于滑轨的两侧，安装平台固定安装于滑轨两侧的支撑杆之间，真空炉固定安装于安装平台上，真空炉包括炉筒、上炉盖及下炉盖，炉筒对齐滑轨垂直安装于安装平台上，上炉盖可拆卸地密封安装于炉筒的上端开口上，轨道车的上端设有一个升降台，下炉盖沿其周向开设有数个安装孔，下炉盖可通过安装孔密封封堵于炉筒的下端开口上，真空系统与真空炉通过管路连接。本实用新型结构设计合理，填料方便，效率高。