[实用新型]一种掩膜板有效
| 申请号： | 202023276185.9 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214327855U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 温质康;乔小平;苏智昱 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人： | 林祥翔;徐剑兵 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公布一种掩膜板，包括框架，所述框架包括镂空区域和非镂空区域，掩膜板还包括承接层；所述承接层设置在所述框架的一面，且所述承接层位于非镂空区域上，所述承接层为微纳米颗粒结构，所述承接层用于附着有机材料；在所述承接层上相对于所述框架的一面上设置有第一凹凸结构或者疏水层，所述第一凹凸结构用于增加承接层和有机材料之间的附着力。上述技术方案具有如下优点：提高掩膜板单次使用时间，减少掩膜板清洗的频率，进而延长掩膜板的使用寿命，进一步降低生产成本，最终提高企业的经济转化率。有机材料能够附着在第一凹凸结构上，不易掉落至下方的真空腔体中，可以确保真空腔体的洁净度。有机材料不与疏水层相结合或相粘结。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 | ||
【主权项】：
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