[实用新型]自适应毛刷控制装置有效
| 申请号： | 202023276435.9 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN214320986U | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 张杰;王毅 | 申请（专利权）人： | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人： | 葛军 |
| 地址： | 225008 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 自适应毛刷控制装置。本实用新型涉及半导体加工领域，尤其涉及一种自适应毛刷控制装置。提供了一种结构简单，方便操作，提高使用寿命的自适应毛刷控制装置。本实用新型在工作中，通过在底座上设置支撑架，在支撑架的横担上设置直线驱动器和激光测距仪，通过激光测距仪测距判断毛刷中刷毛长度的变化情况，在刷毛变短时，控制器控制直线驱动器驱动电机下降动作，保持毛刷与定位圆盘上半导体之间的距离适当，保证工作可靠性。本实用新型方便调整毛刷的高度，动作可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 自适应 毛刷 控制 装置 | ||
【主权项】：
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