[实用新型]一种抛光载具有效
| 申请号： | 202023276732.3 | 申请日： | 2020-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN215148064U | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 陈文鹏;张洁;林武庆;叶智荃 | 申请（专利权）人： | 湖南三安半导体有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 杨鹏 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市高新开发*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种抛光载具，涉及晶体生长技术领域。抛光载具包括底板及挡环，挡环安装在底板上，挡环与底板形成安装槽，安装槽用于安装样品，挡环采用弹性材料制成，可调节安装槽的深度。在本实用新型实施例中，挡环安装在底板上，并与底板形成安装槽，可以理解的是，挡环的厚度即为安装槽的深度，调节挡环的厚度即可调节安装槽的深度。挡环采用弹性材料制成，可以调节挡环的厚度，从而来调节安装槽的深度，以适应不同厚度的样品。在本实用新型实施例中，同一个抛光载具可以多种厚度的样品，在同时进行不同厚度的样品交叉加工时，可以不用拆换抛光载具，方便了样品的加工，加快了样品的加工速度，同时降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 | ||
【主权项】：
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