[实用新型]一种流水线用多层式固化烤箱有效
| 申请号： | 202023288908.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214012911U | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 王仕初;李奇林;欧阳鸿 | 申请（专利权）人： | 深圳双十科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 深圳市科冠知识产权代理有限公司 44355 | 代理人： | 王久明 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及流水线用多层式固化烤箱，包括机架，机架上设置有物料通道以及两个多层烤箱，物料通道上设置有缓冲放置位；机架还包括移料组件，移料组件包括轨道架和移料头；轨道架上设置有旋转电机、Z轴组件、Y轴组件和X轴组件；移料头接到外部的载有物料的物料治具后，旋转180度，而后在X轴组件的带动下进入物料通道内并移动到与多层烤箱对应的放置位置处，移料头旋转90度并通过Z轴组件调节高度，而后通过Y轴组件带动移料头将物料治具送入烤箱内，反之则可以将烘烤好的物料移出，此外，物料通道中还设置有缓冲放置位来缓存待烘烤物料或烘烤好来不及马上移出的物料，大幅提升了烘烤效率，同时也十分适合自动化生产线使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流水线 多层 固化 烤箱 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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