[实用新型]一种集束式匀胶显影设备有效
| 申请号： | 202023292417.X | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN213843757U | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 张军区;杜国强;董金良 | 申请（专利权）人： | 无锡环亚微电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 王俊 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型属于集成电路制造光刻技术领域，具体公开了一种集束式匀胶显影设备，包括主体和喷管，所述主体的内部固定连接有显影舱，且显影舱的右侧水平安设有主泵，所述喷管位于主泵的右侧，且喷管的下方固定连接有淋头，所述淋头的下方安装有副转轮，且副转轮的前端安装有副辅轮，所述副辅轮的外壁套接有皮带，且皮带的内部活动连接有主转轮，所述主转轮的前端安装有主辅轮。该集束式匀胶显影设备，与现有的普通集束式匀胶显影设备相比，该装置内的相关设置可提高装置的进料效率，该设计替代了传统人工手动送料，提高装置生产效率该装置进料、显影、冲洗和烘干，四重结构相互配合一体化设置，使得装置的工作效率更高、安全性更高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集束 式匀胶 显影 设备 | ||
【主权项】：
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