[实用新型]一种磁流体一体式源挡板开闭机构有效
| 申请号： | 202023296567.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214300326U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 曹恒涛 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 为了解决如何对淀积的继续控制成了当下需要解决的问题，本实用新型提出一种磁流体一体式源挡板开闭机构，对淀积的控制通过切换遮板的位置来完成，因而，蒸发在淀积开始之前将遮板移至坩埚上放，当加热细丝进行稳定的电子发射和蒸发时移除遮板，遮板的轴杆采用磁流体，轴杆位于连接在防着板上，轴杆的一端与遮板连接，另外一端通过联轴器与气缸连接，磁流体可以增加磁流体与防着板处的密封性，遮板和磁流体的配合可以防止源材料扩散至蒸镀机内部的其他部件上造成源材料的浪费，结构简单，自动化程度高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 流体 体式 挡板 开闭 机构 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州佑伦真空设备科技有限公司，未经苏州佑伦真空设备科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023296567.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
