[实用新型]一种单晶硅片退火冷却箱

摘要

本实用新型公开了一种单晶硅片退火冷却箱，包括冷却箱本体，冷却箱本体内开设有冷却槽，冷却槽的内壁沿竖直中垂线对称开设有两个滑槽，滑槽内滑动连接有滑板，两个滑板之间固接有支撑板，滑板上设置有夹持机构，夹持机构用于夹持位于支撑板上方的单晶硅片，冷却箱本体上转动连接有用于密封的连接盖。本实用新型通过设置滑槽，滑板插入滑槽的过程中，驱动块接触并下压固定块，使得固定块下降并带动连接板、夹板下降，达到快速夹持硅片的效果，此时通过风机对硅片的两侧进行冷却，达到便于工作的效果，通过设置弹簧，冷却后将支撑板滑出，此时驱动块与固定块分离，弹簧的弹力会将固定块顶出，从而使得夹板远离硅片，达到快速拆卸的效果。