[实用新型]一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构有效
| 申请号： | 202023304213.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN213812124U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 薛蒙晓 | 申请（专利权）人： | 苏州佑伦真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 苏州彰尚知识产权代理事务所(普通合伙) 32336 | 代理人： | 曹恒涛 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种真空蒸镀机腔室顶部的探头结构，从上到下包括：气缸、连轴器、第二中空套筒、电极固定件、探头晶振片固定件、和盖帽，所述连轴器与气缸和第一杆体固定，连轴器的外面套设有第一中空套筒，第一中空套筒的上端与气缸的壳体固定，下端与第二中空套筒固定，电极固定件与第二中空套筒的下端固定，探头晶振片固定件与第一杆体的下部固定，6个探头和晶振片均匀分布并固定在探头晶振片固定件内，盖帽套设在探头晶振片固定件的外面、且与电极固定件连接固定，盖帽的底部具有一个第一通孔，气缸每次旋转60°，带动连轴器、第一杆体和探头晶振片固定件同步旋转60°，使得更换一个探头和晶振片与盖帽的第一通孔位置对应。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 蒸镀机腔室 顶部 探头 结构 | ||
【主权项】：
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