[实用新型]一种晶圆存放箱有效
| 申请号： | 202023311654.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214421045U | 公开（公告）日： | 2021-10-19 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B65D25/02 | 分类号： | B65D25/02;B65D25/04;B65D25/52;B65D77/24;B65D85/86;B65D25/20 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶圆存放箱，包括箱体，箱体的内腔通过隔板设置有存放腔，存放腔的侧壁铰接有开关门，箱体的侧壁开设有装配槽，装配槽内滑动连接有真空笔放置架，真空笔放置架的内腔装配有与装配槽相卡接的定位机构，真空笔放置架内开设有卡槽，卡槽内卡接有真空笔。通过存放腔内的存放架可以同时存放多片晶圆，在箱体的侧壁卡接有真空笔放置架，通过真空笔放置架内的真空笔可以用于对存放腔内晶圆的拿取，真空笔放置架可以通过定位机构进行位置的调节，通过真空笔对晶圆进行拿取更加方便，减少人为造成的晶圆磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 存放 | ||
【主权项】：
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