[实用新型]一种飞秒激光加工系统有效
申请号: | 202023317586.4 | 申请日: | 2020-12-31 |
公开(公告)号: | CN214518289U | 公开(公告)日: | 2021-10-29 |
发明(设计)人: | 陆昱成;贾建成 | 申请(专利权)人: | 苏州科韵激光科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/382 | 分类号: | B23K26/382;B23K26/06;B23K26/402 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 215100 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种飞秒激光加工系统,包括:飞秒激光模块,用于出射第一飞秒激光光束,第一飞秒激光光束具有第一功率;位于第一飞秒激光光束传播路径上的扩束模块,扩束模块用于对第一飞秒激光光束进行光束扩束和准直,形成第二飞秒激光光束;位于第二飞秒激光光束传播路径上的衰减模块,衰减模块包括衰减片,衰减片用于对第二飞秒激光光束进行功率衰减,以形成第三飞秒激光光束,第三飞秒激光光束具有第二功率;第二功率小于第一功率;位于第三飞秒激光光束传播路径上的加工切割头,加工切割头用于聚焦第三飞秒激光光束并对待加工材料打孔。解决了现有技术中对玻璃材料微孔加工中无法实现更小的微孔直径以及无法解决崩边较大等技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 加工 系统 | ||
【主权项】:
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