[实用新型]一种用于旋涂设备的定位辅助装置有效
| 申请号： | 202023320323.9 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN213814290U | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 冀然 | 申请（专利权）人： | 青岛天仁微纳科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 山东重诺律师事务所 37228 | 代理人： | 王鹏里 |
| 地址： | 266109 山东省青岛市城阳区城*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于旋涂设备的定位辅助装置，包括升降式旋涂操作台，升降式旋涂操作台的上表面中部设有真空吸盘，且真空吸盘连接外部气泵，升降式旋涂操作台上设有保护罩，升降式旋涂操作台后侧设有安装底座，且安装底座前端固定装配有支撑杆，支撑杆前端固定装配有位于升降式旋涂操作台上方的定位辅助装置本体；方案采用定位辅助装置本体对基片进行准确定位，通过添加定位块的数量实现对不同尺寸的基片圆心位置的准确定位，提高了适用范围；方案采用的定位辅助装置本体操作方便，通过螺纹杆对增设的定位块进行连接固定，提高定位精度，利于胶层的均匀涂覆。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 设备 定位 辅助 装置 | ||
【主权项】：
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