[实用新型]一种碳化硅晶圆测试载台

摘要

本实用新型公开了一种碳化硅晶圆测试载台，包括晶圆测试台台体，所述晶圆测试台台体的上端固定连接控制座、一号支撑柱、二号支撑柱、配电箱、固定旋转底座，所述晶圆测试台台体的上端开设有活动槽，所述控制座的上端设置有控制面板，所述一号支撑柱与二号支撑柱的上端固定有操作平台，所述操作平台的一端开设有一号螺母孔。本实用新型所述的一种碳化硅晶圆测试载台，设有滑动旋转放置座与伸缩固定底座，通过增加滑动旋转放置台使取用测试晶圆片更加方便，便于测试使用，通过增加伸缩固定底座，使整个操作台的高度可以人为调控，使晶圆测试载台更加灵活多变，带来更好的使用前景。