[实用新型]一种扫描式靶座及脉冲激光沉积装置有效
| 申请号： | 202023323830.8 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN215328332U | 公开（公告）日： | 2021-12-28 |
| 发明（设计）人： | 张晓军;胡凯;姜鹭;方安安;陈志强;杨洪生;董帅;袁国亮;刘东方;尹曦;郑晓昊 | 申请（专利权）人： | 深圳市矩阵多元科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28 |
| 代理公司： | 深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙) 44319 | 代理人： | 余薇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于脉冲激光沉积技术领域，提供了一种扫描式靶座及脉冲激光沉积装置，包括：一个位移台、设置在所述位移台上的套筒、设置在所述套筒内的转轴、设置在所述转轴上的靶台、设置在所述位移台内的第一平移驱动装置、设置在所述位移台内的第二平移驱动装置、设置在所述位移台下一侧的支架、设置在所述位移台下的上下运动波纹管、上下运动电机、以及公转电机，所述公转电机一端固定在所述支架上，所述第一平移驱动装置和所述第二平移驱动装置垂直设置，所述公转电机与所述转轴传动连接。本实用新型通过水平扫描运动来提高了靶材的利用率，节约成本，结构简单，适用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 式靶座 脉冲 激光 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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