[实用新型]一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片

摘要

本实用新型公开了一种电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，包括外壳和卡块，所述外壳的外壁两侧均设置有第一合页，且第一合页的一侧设置有防护盖，所述防护盖的外壁设置有第二合页，且第二合页的一侧设置有固定片，同时固定片的外壁均设置有螺纹孔，所述卡块均设置在外壳的外壁一侧，且外壳的另一侧外壁均设置有卡槽。该电磁驱动MEMS超表面结构镜面微振镜芯片，通过外壳、第一合页、防护盖、第二合页、固定片和螺纹孔的设置，在使用时可以对外壳起到有效的防护作用，避免重物撞击到外壳上导致损坏无法使用，同时在防护后可以对防护盖进行固定，避免因晃动导致防护盖自动打开失去防护效果，便于固定可以避免这类情况发生。