[实用新型]一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备有效
| 申请号： | 202023340265.6 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214304836U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 肖坚;刘文科;胡宗义 | 申请（专利权）人： | 成都纽曼和瑞微波技术有限公司 |
| 主分类号： | F16C11/04 | 分类号： | F16C11/04 |
| 代理公司： | 北京卓恒知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11394 | 代理人： | 孔鹏 |
| 地址： | 610000 四川省成都*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种转动组件、悬臂装置以及等离子体化学气相沉积设备，属于控制结构技术领域，转动组件包括固定轴、转动座、涡轮、蜗杆以及电机，涡轮与固定轴连接，转动座与固定轴之间转动连接，蜗杆与转动座转动连接，且蜗杆与涡轮啮合，电机驱动连接蜗杆，蜗杆的转动轴线可以与涡轮的转动轴线垂直设置。本实用新型公开的转动组件无需在待控制部件上加工轴孔，待控制部件可以直接与转动座进行连接，当电机驱动蜗杆转动时，蜗杆在自转的过程中绕涡轮转动，从而带动转动座上的结构或者部件转动，实现角度的调整，这种传动组件结构简单，蜗杆同时发生自转和公转，控制精度高，且转动稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 转动 组件 悬臂 装置 以及 等离子体 化学 沉积 设备 | ||
【主权项】：
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