[实用新型]一种掩膜治具有效
申请号: | 202023341460.0 | 申请日: | 2020-12-30 |
公开(公告)号: | CN214361675U | 公开(公告)日: | 2021-10-08 |
发明(设计)人: | 不公告发明人 | 申请(专利权)人: | 安徽华晟新能源科技有限公司 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04;H01L31/18 |
代理公司: | 北京清大紫荆知识产权代理有限公司 11718 | 代理人: | 彭一波 |
地址: | 242074 安徽省宣城市宣城经*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本申请实施例中提供了一种掩膜治具,属于太阳能电池制造的技术领域,该掩膜治具具体包括填充层和掩膜板,掩膜板包括框架以及位于框架内的用于形成电极的掩膜图形,掩膜图形能覆盖于透明导电层上方;填充层位于掩膜板的一侧并与掩膜图形中遮挡部对应,能与透明导电层接触并用于填充透明导电层被掩膜板覆盖区域表面的空隙。通过本申请的掩膜治具,改善了现有技术中掩膜虚掩或者溢镀的问题,提高太阳能电池的发电效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 掩膜治具 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的