[实用新型]晶棒防坠装置和晶体生长设备有效
| 申请号： | 202023342674.X | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN214694454U | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 苗江涛;汪佳;李楚克 | 申请（专利权）人： | 徐州晶睿半导体装备科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张文姣 |
| 地址： | 221004 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种晶棒防坠装置和晶体生长设备，晶棒防坠装置适于设在晶体生长装置的副室的底部，以阻挡晶棒坠落，晶棒防坠装置包括：防护盘和连接件。防护盘适于位于副室的正下方，连接件设在防护盘上，连接件的上端适于与副室可拆卸地相连，连接件具有锁定状态和解锁状态，在连接件处在锁定状态时，连接件相对防护盘固定，在连接件处在解锁状态时，连接件相对防护盘可活动或者连接件从所述防护盘上拆下。根据本实用新型实施例的晶棒防坠装置，在副室旋位过程中，该晶棒防坠装置可以阻挡晶棒坠落，方便取棒过程中不干涉、不影响原有取棒驱动的功能，并且该晶棒防坠装置可反复使用。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒防坠 装置 晶体生长 设备 | ||
【主权项】：
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