[实用新型]一种往复镀膜设备

摘要

本实用新型提供了一种往复镀膜设备，包括第一存储腔、镀膜腔、第二存储腔、真空泵组和传送机构，所述第一存储腔通过所述镀膜腔与所述第二存储腔连通，所述传送机构依次穿过所述第一存储腔、镀膜腔和第二存储腔，所述第一存储腔的入口设有第一真空隔离阀，所述真空泵组分别与所述第一存储腔和第二存储腔连接。本实用新型的有益效果在于：提供了一种结构合理，具有双储存腔的镀膜设备，通过两个储存腔中的传送机构可将多片基片来回输送，从而实现对基片进行往复镀膜，该镀膜设备装片量大，产能大，经济效益好，镀膜过程中避免了多次抽真空导致浪费时间，有效降低了生产成本，提高了生产效率，增加了企业的竞争力。