[发明专利]用于在粉末颗粒形态的材料沉积薄膜层的化学气相沉积设备

摘要

根据本发明的一实施例，提供在粉末颗粒形态的材料形成薄膜层的化学气相沉积设备。本发明的一实施例的化学气相沉积设备包括：反应管，装入材料以执行沉积；加热部，对反应管施加热；隔热部，位于反应管及加热部的外侧；气体供应管，向反应管内供应气体；气体排放管，向外部排放反应管内部的气体；其中，反应管构成为可旋转地配置在工作台上以在旋转的同时执行沉积；反应管可构成为具备在中心部具有扩张的容纳空间的腔室部，在腔室部装入材料以执行沉积。