[发明专利]抛光组合物及其使用方法在审
| 申请号： | 202080004088.8 | 申请日： | 2020-10-06 |
| 公开（公告）号： | CN113039039A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 梁燕南;胡斌;温立清;张书维 | 申请（专利权）人： | 富士胶片电子材料美国有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;C09G1/02;H01L21/02 |
| 代理公司： | 北京博思佳知识产权代理有限公司 11415 | 代理人： | 艾佳 |
| 地址： | 美国罗*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种抛光组合物，其包括磨料；可选的pH调节剂；阻挡膜移除速率增强剂；TEOS移除速率抑制剂；钴移除速率增强剂；含唑腐蚀抑制剂；及钴腐蚀抑制剂。 | ||
| 搜索关键词： | 抛光 组合 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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