[发明专利]喷嘴、显影装置以及被处理体的加工方法在审
| 申请号： | 202080007264.3 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN115942996A | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 神田真治;涩谷纪仁 | 申请（专利权）人： | 新东工业株式会社 |
| 主分类号： | B05B7/04 | 分类号： | B05B7/04;H01L21/304;B05B15/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 王玮;苏琳琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在一个方式中，提供一种向被处理体喷射处理液的喷嘴。该喷嘴具备：具有中心轴线的壳体、向壳体内供给处理液的液体供给口、向壳体内供给压缩气体的气体供给口、以及将处理液与压缩气体一同喷射的喷射口，喷射口具有以中心轴线为中心的圆环形状。 | ||
| 搜索关键词： | 喷嘴 显影 装置 以及 处理 加工 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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