[发明专利]溅射靶、将靶材与背板接合的方法及溅射靶的制造方法有效
| 申请号： | 202080008654.2 | 申请日： | 2020-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN113316658B | 公开（公告）日： | 2023-06-02 |
| 发明（设计）人： | 藤田昌宏;西冈宏司 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B23K1/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李国卿 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的课题是提供靶材不易剥离的溅射靶。本发明的溅射靶具备：背板；和靶材，其借助接合材料而接合于所述背板的接合区域，其中，所述靶材与所述背板之间的接合部位的接合面积相对于所述接合区域的面积而言为97％以上，所述靶材与所述背板之间的不存在接合材料的部位的最大缺陷面积相对于所述接合区域的面积而言为0.6％以下。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 将靶材 背板 接合 方法 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于住友化学株式会社，未经住友化学株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080008654.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：图像形成设备
- 下一篇：用于网络协调通信的数据发送和接收的方法和装置
- 同类专利
- 专利分类
