[发明专利]电子系统、加速度计、校准方法、光刻设备和器件制造方法

摘要

本发明涉及一种电子系统，所述电子系统用于具有压电元件和第一机械共振频率的加速度计，所述电子系统包括：a)阻尼电路，所述阻尼电路被配置成：‑接收来自所述压电元件的加速度信号，‑以电学方式使所述第一机械共振频率的振幅减幅；以及‑产生经减幅的加速度信号，b)扩展器，所述扩展器被配置成：‑接收经减幅的加速度信号；‑扩展频率响应；以及‑输出经扩展的经减幅的加速度信号，其中所述扩展器被配置成具有与经减幅的第一机械共振频率相匹配的第一电子反共振频率，并且被配置成具有介于所述第一电子反共振频率与更高的第二频率之间的、与所述加速度计和所述阻尼电路的组合的相对应的频率响应大致相反的频率响应。