[发明专利]微装置匣结构在审
| 申请号： | 202080015087.3 | 申请日： | 2020-02-22 |
| 公开（公告）号： | CN113454777A | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 戈尔拉玛瑞扎·恰吉;埃桑诺拉·法蒂;普拉纳夫·加维尔内尼;巴哈雷·萨德吉马基;维萨尔·迈赫迪·阿拉亚什 | 申请（专利权）人： | 维耶尔公司 |
| 主分类号： | H01L25/00 | 分类号： | H01L25/00;H01L21/66;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张晓媛 |
| 地址： | 加拿大*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开将微装置集成到系统衬底中的结构及方法。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 结构 | ||
【主权项】：
暂无信息
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