[发明专利]真空泵送装置以及真空泵送方法有效
| 申请号： | 202080015787.2 | 申请日： | 2020-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN113423950B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | G·R·雪莱;P·G·斯塔默斯;B·S·B·罗伯茨 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B49/06;F04C25/02;F04C28/08;F04C28/28;F04D19/04;F04D27/00;F04D27/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 邹龙辉;张一舟 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了一种真空泵送装置（10）和方法。该真空泵送装置包括：公共泵送管线（90A‑C），所述公共泵送管线具有泵送管线出口和多个泵送管线入口，每个泵送管线入口被构造成与相关联的多个真空处理室（30）的出口联接；至少一个初级真空泵（100），所述初级真空泵与所述泵送管线出口流体连通以从每个真空处理室泵送气体；以及控制逻辑（120），其可操作以响应于多个真空处理室的操作状态的指示而控制初级真空泵的操作。这样，可以调节初级真空泵的性能以匹配由处理室提供的负载，并且当存在过剩的容量时(意味着初级真空泵利用不足)，则可以降低初级真空泵的性能，这可以导致显著的能量节省并且减少泵的磨损。 | ||
| 搜索关键词： | 真空泵 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于爱德华兹有限公司，未经爱德华兹有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080015787.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
