[发明专利]气体分析装置以及气体分析装置的控制方法有效
| 申请号： | 202080024323.8 | 申请日： | 2020-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN113631916B | 公开（公告）日： | 2022-11-04 |
| 发明（设计）人： | 高桥直树;柏拉卡斯·斯里达尔·穆尔蒂 | 申请（专利权）人： | ATONARP株式会社 |
| 主分类号： | G01N27/62 | 分类号： | G01N27/62;G01N27/622;H01J49/02;H01J49/14 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种对流入的样品气体(9)进行分析的气体分析装置(1)。气体分析装置具有：过滤器单元(20)，其对样品气体进行过滤；检测器单元(30)，其对过滤的结果进行检测；壳体(40)，其收纳这些单元；以及控制单元(60)，其对各单元的电位进行控制。控制单元包括清洁控制单元(61)，该清洁控制单元(61)将过滤器单元、检测器单元以及壳体的电位设定为清洁电位，该清洁电位为引入样品气体的供给源的工艺等离子体(75)或由等离子体生成单元(50)生成的等离子体(55)来作为清洁用的等离子体的电位。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 分析 装置 以及 控制 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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