[发明专利]用于多束带电粒子检查系统的图像增强的系统和方法在审
| 申请号： | 202080026928.0 | 申请日： | 2020-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN113661557A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | M·R·古森;A·V·G·曼格努斯;L·库因德尔斯玛 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28;H01J37/22;G06T7/00;G06T5/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳;郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 与本文公开一致的实施例包括用于多束带电粒子检查系统的图像增强的方法。与本公开一致的系统和方法包括分析代表第一图像和第二图像的信号信息，其中第一图像与一组束中的第一束相关联，并且第二图像与一组束中的第二束相关联；基于分析，检测第一束和第二束相对于样品的定位的扰动；使用第一束和第二束的信号信息获得样品的图像；并使用识别的扰动，校正样品的图像。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 束带 粒子 检查 系统 图像 增强 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202080026928.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
