[发明专利]物体定位系统、诊断和校准方法、定位控制方法、光刻设备和器件制造方法在审
| 申请号： | 202080027579.4 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113661448A | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | B·詹森;S·A·A·阿布德尔莫伊蒂;H·巴特勒;K·J·F·卢南;A·辛格;R·E·J·R·范德维尔登 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H02N2/06;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳;闫昊 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种物体定位系统，包括：致动器系统；和测量系统，其中致动器系统包括由主要具有电致伸缩特性并且在没有电场的情况下基本没有净极化的材料制成的致动器，其中致动器系统被配置为向致动器施加电场，该电场包括偏置电场和叠加在偏置电场上的致动电场，所述致动电场的场强等于或小于偏置电场的场强，其中测量系统被配置为测量致动器的电特性，该电特性代表致动器的机械状态。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 定位 系统 诊断 校准 方法 控制 光刻 设备 器件 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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