[发明专利]接合体及弹性波元件在审
| 申请号： | 202080029092.X | 申请日： | 2020-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN114144897A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 服部良祐;浅井圭一郎;多井知义;鹈野雄大 | 申请（专利权）人： | 日本碍子株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/187;H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙) 11432 | 代理人： | 王轶;郑雪娜 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够提高弹性波元件的Q值的接合体。接合体9A具备：支撑基板6、压电性材料基板1A、以及支撑基板与压电性材料基板之间的多层膜22。多层膜22具备按以下顺序具有第一层3、第二层7A、第三层3以及第四层7A的层叠结构2。第一层3及第三层3包含硅氧化物，第二层7A及第四层7B包含金属氧化物。第二层7A的折射率高于第一层3的折射率及第三层3的折射率。第二层7A的折射率与第四层7B的折射率不同。 | ||
| 搜索关键词： | 接合 弹性 元件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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